镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电介质膜(称为介质膜)。或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。

在可见光和红外线波段范围内,大多数金属的反射率都可达78%~98%,但不可能高于98%.无论是对于CO₂激光,采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜,采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料,还是对于Nd:YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料,都不能达到全反射镜的反射率在99%以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求,因此必须采用光学镀膜方法。

对于CO₂激光等中红外线波段,常用的镀膜材料有氟化钇、氟化错、锗等;对于Nd:YAG激光等近红外波段或可见光波段,常用的镀膜材料有硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆等。除了高反膜、增透膜以外,还可以镀对某波长增反射、对另一波长增透射的特殊膜,如激光倍频技术中的分光膜(二色镜)等。

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